洗浄可能なもの

・キャリアBOX

・FOUP

・マスクケース

・樹脂ボトル

・ガラス瓶

・各種実装トレー

超純水を満たした水槽の溶液を、液体フィルターを通して循環し、系内溶液の清浄度を上げた後、ポンプを停止、バックグランド濃度を計測、次に試料を水槽中に投入し試料表面に付着している粒子を液中に脱離させ、液中濃度を計測し、評価します。